Čo je filter ULPA? Ako sa líši od HEPA a kam každý patrí

HEPA filter podľa EN 1822 sa zvyčajne vzťahuje na H13 alebo H14. Filter ULPA sa vzťahuje na U15, U16 alebo U17. Skok z H14 na U15 vyzerá na papieri malý, ale z hľadiska prieniku ide o zásadný krok. H14 umožňuje maximálnu celkovú penetráciu 0,005 %, zatiaľ čo U15 to znižuje na 0,0005 %. To je 10-násobné zníženie prípustnej penetrácie.

To je prvá vec, ktorú by si kupujúci mali zapamätať:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•Testovacím základom je MPPS, nie len jednoduché marketingové vyhlásenie 0,3 μm

Vyššia účinnosť zvyčajne znamená prísnejšiu kontrolu kontaminácie, ale aj väčšiu citlivosť systému na dizajn prúdenia vzduchu a pokles tlaku

Triedy účinnosti EN 1822

Podľa EN 1822 sú bežne uvádzané triedy vysokej{1}}účinnosti:

•H13: Väčšia alebo rovná 99,95 % celkovej účinnosti

•H14: Väčšia alebo rovná 99,995 % celkovej účinnosti

•U15: Väčšia alebo rovná 99,9995 % celkovej účinnosti

•U16: Väčšia alebo rovná 99,99995 % celkovej účinnosti

•U17: Väčšia alebo rovná 99,999995 % celkovej účinnosti

Rovnaká tabuľka tried obsahuje aj miestne limity účinnosti/penetrácie, na ktorých záleží, keď je skenovanie netesností súčasťou akceptačnej požiadavky.

Tu začína zmätok.

Na trhu mnoho údajových listov ULPA stále opisuje výkon ako 99,9995 % pri 0,12 μm. Literatúra k produktu AAF to robí priamo pre ULPA moduly a boxové filtre. Táto formulácia je stále bežná a známa mnohým inžinierom. Ale logika formálnej klasifikácie podľa EN 1822 / ISO 29463 je založená na testovaní MPPS. To znamená, že najbezpečnejší spôsob porovnávania produktov je:

•Najskôr skontrolujte triedu: H14, U15, U16, U17

•Potvrďte skúšobnú normu: EN 1822 / ISO 29463

•Potom skontrolujte, ako dodávateľ uvádza nameranú účinnosť v údajovom liste

Čo skok U15 skutočne znamená

Naši inžinieri často vidia, ako sa kupujúci správajúU15ako "o niečo lepšie ako H14." Je to lepšie. Prípustný celkový prienik klesne o jedno desatinné miesto. Z hľadiska čistých priestorov na tom záleží, keď proces už bojuje na úrovni defektu, nielen na úrovni-pohodlia miestnosti.

Zdravotníctvo a operačné sály: cieľom je kontrola infekcií, nie výťažok oblátok

Pri navrhovaní zdravotnej starostlivosti je hlavným záujmom kontrola infekčného rizika prenášaného vzduchom, kontaminácie chirurgických-miest, tlakových vzťahov a čistého prúdenia vzduchu nad kritickou zónou. Zdravotné usmernenia ASHRAE to uvádzajúHEPA filtre vyžaduje štandard 170 len pre miestnosti s ochranným-prostredím, nie v každom zdravotníckom priestore. Na operačných sálach sa kladie dôraz na pole prívodného difúzora, vzor prúdenia vzduchu a pretlakovanie miestnosti. Preto sa diskusie o zdravotníctve zvyčajne sústreďujú na stredHEPA, nie ULPA.

Existujú zdravotnícke produkty, ktoré ponúkajú voliteľný výkon ULPA. Literatúra spoločnosti Camfil o ventilácii operačných-sál uvádza pre niektoré systémy voliteľné filtre ULPA. To však nič nemení na širšom pravidle:štandardným štandardom zdravotnej starostlivosti je filtrácia-triedy HEPA, zatiaľ čo ULPA je špeciálny prípad, nie predvolená odpoveď.

Polovodičové čisté priestory sú rôzne. Pokyny spoločnosti Camfil týkajúce sa polovodičov opisujú výrobné zariadenia zamerané na úrovne častíc triedy 1 podľa normy ISO spolu s prísnou kontrolou molekulárnej kontaminácie vo vzduchu (AMC). Zdôrazňuje tiež použitie HEPA a ULPA filtrov v aplikáciách, ako je litografia, leptanie, difúzia, metalizácia, implantácia iónov, kontrolné nástroje a skladovanie nitkového kríža alebo plátku. MANN+HUMMEL tiež popisuje FFU systémy pre čisté priestory s použitím prvkov H14 až U17.

To je dôvod, prečo kupujúci polovodičov často prechádzajú z HEPA na ULPA:

•kritické veľkosti častíc sú menšie

•Strata výnosu je priamo spojená s kontamináciou nanometrov

•nástroje a mini{0}}prostredia často vyžadujú prísnejšiu kontrolu ako okolitá továreň

• popri časticiach je dôležitá aj molekulárna kontaminácia vo vzduchu

Jednoduché pravidlo:
•Ak miestnosť chráni pracovný postup pacienta a personálu, referenčným bodom je zvyčajne HEPA.
•Ak miestnosť chráni plátok, masku, nitkový kríž alebo pokročilý procesný nástroj, ULPA sa stáva oveľa bežnejším

Nie. Nie automaticky.

Lepší filter na papieri nie je vždy lepšou inžinierskou voľbou v teréne.

Kupujúci by si tiež mali porovnať:

•Počiatočný odpor

• prípustný konečný pokles tlaku

• kapacita ventilátora a náklady na energiu

•rovnomernosť prúdenia vzduchu

•požiadavky testu pečatenia a skenovania-

•uvoľňujúce správanie

•riziko aplikácie, ak sa filter rýchlejšie upchá alebo si vynúti prepracovanie vzduchového systému

Naši inžinieri často vidia špecifikáciu ULPA tam, kde by H14 spĺňal skutočné požiadavky procesu s nižším odporom systému a nižšími prevádzkovými nákladmi. Stáva sa aj opačná chyba: HEPA sa skopíruje do polovodičového alebo mikroelektronického RFQ jednoducho preto, že je to známejší termín. Ani jedna skratka nie je dobrá prax obstarávania.

Tento bod sa neustále prehliada.

V prostredí polovodičov a mikroelektroniky nie sú problémom len častice. Je to tiež molekulárne uvoľňovanie zo samotného filtra. Camfil tvrdí, že jeho rad polovodičových predfiltrov je navrhnutý tak, aby chránil HEPA filtre bez uvoľňovania bóru, a jeho produkty HEPA/ULPA pre polovodičové použitie sú navrhnuté pre veľmi nízke uvoľňovanie plynov. AAF uvádza to isté zo strany mikroelektroniky, pričom uvádza, že filtračné médium-bez bóru a chemicky inertné filtračné médium obmedzuje-plynovanie, ktoré môže poškodiť mikroelektroniku. Spoločnosť Hollingsworth & Vose tiež opisuje svoje mikrosklenené médiá s nízkym-bórom ako navrhnuté pre čisté priestory v polovodičových továrňach.

Pri výrobe polovodičov nie je stopová kontaminácia teoretická. Vzduchom prenášaná molekulárna kontaminácia a chemické zvyšky môžu ovplyvniť povrchy plátkov, optiku a procesné nástroje. Camfil výslovne poznamenáva, že nežiaduce reakcie zahŕňajúce kyseliny, zásady, organické látky, žiaruvzdorné materiály adopantovmôže spôsobiť chyby a znížiť účinnosť zariadenia. Bór je dopujúcim prvkom pri spracovaní polovodičov, takže nekontrolované uvoľňovanie bóru z materiálov v dráhe vzduchu je presne to, čomu sa výrobcovia snažia vyhnúť.

Preto kupujúci v elektronike často žiadajú:

•nízky-bórmédiá

•nízke-odplyňovanielepidlá a komponenty

• ULPA alebo špičkové{0}}moduly HEPA/ULPA vytvorené špeciálne pre mikroelektroniku

• Filtre pre čisté priestory prispôsobené prostrediam litografie, leptania, tenkého filmu alebo inšpekčných nástrojov

Toto je dôležité. Filtračné médiá s nízkym-bórom nie sú potrebné v každej čistej miestnosti.

Dôležitým sa stáva, keď:

procesom je polovodič alebo mikroelektronika

kupujúci riadi AMC a odplyňovanie materiálu

továreň alebo výrobca nástrojov má prísne špecifikácie chemickej čistoty

náklady na stopovú kontamináciu sú extrémne vysoké

V prípade mnohých farmaceutických, nemocničných alebo štandardných priemyselných čistých priestorov sa táto požiadavka nemusí nikdy objaviť v RFQ.

1. Porovnanie HEPA pri 0,3 μm s ULPA pri 0,12 μm bez kontroly štandardu

Ide o porovnanie jabĺk-k-pomarančom, pokiaľ nepotvrdíte uvedený základ testu a triedu. Klasifikácia EN 1822 / ISO 29463 je postavená na MPPS.

2. Určenie ULPA, pretože to „znie bezpečnejšie“

Vyššia účinnosť nie je bezplatný upgrade, ak systém nedokáže absorbovať pokles tlaku alebo ak to proces nepotrebuje.

3. Ignorovanie odplynenia a chemickej čistoty v elektronike

V polovodičových aplikáciách záleží na vlastných materiáloch filtra. Konštrukcia s nízkym-bórom a nízkym-odplyňovaním môže byť rovnako dôležitá ako trieda účinnosti.

4. Zápis "ULPA filter" do RFQ bez triedy

Vážna RFQ by mala povedaťU15, U16 alebo U17plus skúšobný štandard a veľkosť.